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 SURFCOM 1400D-LCD 机型
PDP形状测量机。
特点1
PDP的前面基板用于蒸镀膜厚测量,是最适合测量背面基板段差高度的专用测量机。
特点2
X轴的驱动部也采用电动机移动方式(X方向900mm、Y方向1300mm),可以大范围的进行测量。
特点3
内部数据处理装置采用1400D的机器配置。
 
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